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全自動(dòng)槽式清洗機
全自動(dòng)槽式清洗機
全自動(dòng)槽式清洗機廣泛應用于集成電路領(lǐng)域、先進(jìn)封裝領(lǐng)域里的清洗、刻蝕后、光刻膠去除等工藝。與傳統的清洗設備相比自動(dòng)化程度更高,可用于4寸、6寸、8寸、12寸硅片清洗。還可以選配兆聲波系統、管路防靜電等配置。設備可以提供在異常情況下對硅片的獨特保護(SPS系統)??商峁┒鄠€(gè)槽體或單片進(jìn)行化學(xué)藥液或純水,結合噴淋、溢流、快速沖洗等清洗方式,配合先進(jìn)的IPA干燥方式,可同時(shí)對25或50片進(jìn)行工藝處理。

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